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非接觸式3D表面測(cè)量系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:NanoSystem NSM系列非接觸式3D表面測(cè)量系統(tǒng)用于PCB基板表面形貌的測(cè)量。 基板上的Via Hole,Pad形狀,pattern形貌和表面形貌等11個(gè)項(xiàng)目可以進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量。 在高速測(cè)量下仍具有優(yōu)秀的重復(fù)性和準(zhǔn)確性,支持用戶設(shè)定測(cè)量條件和測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存及分析功能。

  • 產(chǎn)品型號(hào):NanoSystem NSM-5060P
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2022-03-12
  • 訪  問  量:1951

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,航天,汽車


NanoSystem NSM-5060P非接觸式3D表面測(cè)量系統(tǒng)



產(chǎn)品描述

NanoSystem NSM-5060P非接觸式3D表面測(cè)量系統(tǒng)用于PCB基板表面形貌的測(cè)量。

基板上的Via Hole,Pad形狀,pattern形貌和表面形貌等11個(gè)項(xiàng)目可以進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量。

在高速測(cè)量下仍具有優(yōu)秀的重復(fù)性和準(zhǔn)確性,支持用戶設(shè)定測(cè)量條件和測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存及分析功能。


產(chǎn)品規(guī)格

測(cè)量方式:非接觸式白光干涉

垂直掃描速度:6.0μm/Sec

垂直掃描范圍:270μm

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm  PSI: <0.1nm

臺(tái)階高度重復(fù)性:0.1% @ (1σ)

照明光源:LED illunination

換鏡轉(zhuǎn)盤:電動(dòng)

相機(jī):640x480

FOV鏡頭:x0.55,x0.75,x1.0, x1.5, and x2.0

干涉物鏡:x2.5,x5,x10,x20,x50

物鏡:x5,x10

橫向分辨率:0.45-2.6um(取決于物鏡和FOV

XY stage:XY Stroke:630x630mm

Z Stage: 50mm

工作臺(tái)面:610X610mm (程控) 

尺寸:1300(w)X1400(D)X2100(H)

重量:2200Kg


應(yīng)用領(lǐng)域

Nano View系列為LCD(液晶顯示器)、IC Package(芯片封裝)、Substrate(基板)、Build-up PCB(積層板)、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)),Engineering Surfaces(工程表面)等等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的量測(cè)。包括:PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

ISO 25178 · 4287 國(guó)際規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)

按照ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)規(guī)定的規(guī)格,以圖表、表格、2D•3D圖像的形式大面積顯示粗糙度、高度及幅度等各類數(shù)據(jù)。

圖形的粗糙度評(píng)價(jià)Roughness evaluation of images

Nano System利用從ISO、ASMEEUR等多家國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)獲得的30多個(gè)粗糙度參數(shù)來(lái)評(píng)估Sample的粗糙度。



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