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FilmTek 4500反射透射膜厚測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述:Filmtek 4500反射和透射膜厚測(cè)量?jī)x利用新的多角度差分極化測(cè)量(MADP)技術(shù)與SCI patented的差分功率譜密度(DPDS)技術(shù)相結(jié)合,提供了一種在工業(yè)中具有佳的分辨率、準(zhǔn)確度和可重復(fù)性的光學(xué)薄膜計(jì)量工具。通過(guò)提供更高的精度和準(zhǔn)確度,F(xiàn)ilmTek 4500使后期集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的薄膜過(guò)程控制更加嚴(yán)格,從而提高了整個(gè)器件的產(chǎn)量。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2019-02-03
  • 訪  問(wèn)  量:452

產(chǎn)品分類

Product Category

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詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議

Measurement Features

FilmTek™

4000 / 4500

Index of Refraction折射率
(at 2µm thickness)

±0.00002

Thickness Measurement Range

膜厚范圍

3nm-350µm

Maximum Spectral Range (nm)

大光譜范圍

190-1700nm

Standard Spectral Range (nm)

標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍

380-1000nm

Reflection

反射

Yes

Transmission

透射

 Yes(4500)

Spectroscopic Ellipsometry

橢圓光譜技術(shù)

No 

Power Spectra Density

功率譜密度

Yes

Multi-angle Measurements

多角度測(cè)量(DPSD)

Yes

TE & TM Components of Index

TETM成分指數(shù)

Yes

Multi-layer thickness

多層厚度

Yes

Index of Refraction

折射率

Yes

Extinction (absorption) Coefficient

消光(吸收)系數(shù)

Yes

Energy band gap

能帶隙

Yes

Composition

組成

Yes

Crystallinity

結(jié)晶度

Yes

Inhomogeneous Layers

非均勻?qū)?/span>

Yes

Surface Roughness

表面粗糙度

Yes

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